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반도체・액정 분야

  • ● 높은 반복 정밀도와 선형성이 요구되는 용도에 최적화된 토출 펌프 시리즈.
  • ● 높은 반복정도 및 직선성이 요구되는 정량 성능과 도포작업을 시작 하여 끝날때까지 막의 균일 성이 요구되는 정 유량 성능을 겸비한 토출 펌프 시리즈.
  • ● 약액 보틀에서 노즐까지 일괄 제어 가능한 장치.

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